Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai
Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: CEA/Grenoble
Adresas: 17 Rue des Martyrs
Miestas: GRENOBLE CEDEX 9
Pašto
kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: claire.moreau-flachat@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr
Pirkėjo profilio adresas: https://www.marches-publics.gouv.fr
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Equipement de mesure d’overlay pour de la lithographie avancée
Nuorodos numeris: PN-B21-04271-CMF
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
31712100
Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai
;
II.1.3) Sutarties tipas:
Prekės
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Le CEA/Grenoble souhaite louer ou acheter un équipement de mesure d’overlay pour la lithographie avancée qui participera à étudier des process en vue de la production de composants microélectroniques, MEMS ou 2 / 4 NEMS. Il sera intégré dans la salle blanche de son Institut Léti. Il devra gérer automatiquement les mesures sur des plaques de silicium 200 et 300mm.
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai