Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: CEA/Grenoble
Adresas: 17 avenue des martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo ryšiams: Sophie Nègre
El-paštas: sophie.negre@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr
Pirkėjo profilio adresas: https://www.marches-publics.gouv.fr

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Fourniture d’un équipement de Gravure multi-matériaux
Nuorodos numeris: B22-1454-SN

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Prekės

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Dans le cadre de ses activités de R&D pour différents projets sur les semi-conducteurs, le CEA Leti souhaite acquérir un nouvel équipement de gravure par plasma. Cet équipement manipulera des wafers au format 200mm dans un premier temps, mais doit être conçu pour permettre un upgrade vers un mode de fonctionnement en 300mm à l’avenir. Il doit être capable de graver, sur une même plateforme, différents types de matériaux : des diélectriques classiquement utilisés dans l’industrie de la microélectronique, comme des alliages de matériaux moins conventionnels (GaN, LNO, AlNSc…)
Deux chambres supplémentaires de gravure sont en option.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai