Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: CEA/Grenoble
Adresas: 17 Rue des Martyrs
Miestas: GRENOBLE CEDEX 9
Pašto kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo ryšiams: M ZEMERLI Thomas
El-paštas: thomas.zemerli@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr
Pirkėjo profilio adresas: https://www.marches-publics.gouv.fr

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Fourniture d’équipements de traitement thermique.
Nuorodos numeris: AOO-B22-04827-TZ

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Prekės

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Le CEA LETI souhaite acquérir les trois équipements suivants :
Lot 1 : Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications microélectroniques aux nœuds technologiques 10nm et au-delà, sur des plaques de silicium 300mm.
Lot 2 : Equipement de traitements thermiques rapides (RTP) pour l'ingénierie de grille de transistors aux nœuds technologiques 10nm et au-delà.
Lot 3 : Equipement de traitement thermique pour réaliser des recuits en mode batch sur les briques BEOL de transistors FDSOI au nœud technologique 10nm.
Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai