Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: CEA/Grenoble
Adresas: 17 Rue des Martyrs
Miestas: GRENOBLE CEDEX 9
Pašto kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo ryšiams: Mme Louisa SIDHOUMI
El-paštas: Louisa.SIDHOUMI@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr
Pirkėjo profilio adresas: https://www.marches-publics.gouv.fr

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Fourniture d'équipements de dépôt - DEP pour le compte du CEA Grenoble
Nuorodos numeris: B22-04861-LS

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Prekės

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de dépôt - DEP, pour le compte du CEA/LETI, suivants :
o Lot n°1 : Equipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille
o Lot n°2 : Equipement de dépôt électrochimique de cuivre pour damascene BEOL
o Lot n°3 : Equipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOLMOL
o Lot n° 4 : Equipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL
o Lot n° 5 : Equipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL
Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai