Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: CEA Grenoble
Adresas: 17 rue des martyrs
Miestas: GRENOBLE
Pašto kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo ryšiams: Mme BOREL Isabelle
El-paštas: isabelle.borel@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr
Pirkėjo profilio adresas: https://www.marches-publics.gouv.fr

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

fourniture d'un implanteur ionique moyen courant
Nuorodos numeris: B22-04486-IB

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Prekės

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement d'implantation ionique, destiné à réaliser des étapes d'implantation pour les technologies de composants logiques sur FDSOI aux nœuds 10nm et au-delà, ainsi que les implantations d'ions légers utilisées en pour les transferts de couches. Il devra donc être très versatile, avec la possibilité de réaliser des procédés d’implantation de nombreuses espèces dans des larges gammes d’énergie et de dose. Cet équipement devra être configuré pour traiter des plaques 300mm tout en offrant la possibilité d'opérer aussi sur plaques 200mm sans modifications majeures de l'équipement ni de ses réglages.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai