Čekija – Spektroskopijos prietaisai – Mapovací elipsometr

Čekija – Spektroskopijos prietaisai – Mapovací elipsometr

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Vysoké učení technické v Brně
Adresas: Purkyňova 656/123
Miestas: Brno
Pašto kodas: 61200
Šalis: Čekija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: lyckova@vutbr.cz
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: https://www.vut.cz/

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Mapovací elipsometr
Nuorodos numeris: 2024-15/3002

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

33114000 Optiniai filtrai ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Předmětem této veřejné zakázky je dodávka mapovacího elipsometru se schopností mapování, automatického justování vzorku a jednoduché analýzu pro měření struktur na deponovaných/ leptaných površích s velkým rozlišením. Na vrstvách zvolených materiálů přístroj změří mapu tlouštěk, v případě známého substrátu i tlouštěk nejvyšší vrstvy z multivrstvy. Účelem zařízení je vytvořit podrobnou mapu tlouštěk vrstev v procesu litografie. Důležitá je rychlost mapování (probíhá bod po bodě) a snadnost zpracování výsledků. Vzorek se musí najustovat automaticky v každém měřeném bodě. Zařízení bude umístěno v nanofabrikační laboratoři splňující podmínky čistých prostor ISO5; zařízení musí být plně kompatibilní s těmito podmínkami. Podrobně je předmět veřejné zakázky vymezen technickými, obchodními a jinými smluvními podmínkami, které jsou součástí zadávací dokumentace.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

33114000 Spektroskopijos prietaisai
38623000 Optiniai filtrai