Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d’un équipement 200 mm de dépôts PLD (Pulsed Laser Deposition).
Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d’un équipement 200 mm de dépôts PLD (Pulsed Laser Deposition).
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: CEA/GRENOBLE
Adresas: 17 avenue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto
kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: syrga.turganalieva@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Fourniture d’un équipement 200 mm de dépôts PLD (Pulsed Laser Deposition).
Nuorodos numeris: PN-B24-04530-ST
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
31712100
Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai
;
II.1.3) Sutarties tipas:
Kita
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement 200 mm de dépôts PLD (Pulsed Laser Deposition) pour le développement des technologies CMOS et plus particulièrement des matériaux piézoélectriques.
Il est destiné à réaliser les dépôts suivants : nitrure de Titane (TiN), oxyde d’indium-étain (ITO), nitrure d’aluminium scandium (ScAlN), nitrure d’aluminium (AlN).
Le marché envisagé comprend les tranches suivantes :
- Une tranche ferme correspondant à l’équipement de base,
- Une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture d’une chambre PLD.
Le marché envisagé comprend également les options suivantes :
Options avec chiffrage obligatoire :
o OPT1 : Formation à la Maintenance de 1er niveau
Options avec chiffrage facultatives :
o OPT2 : Formation à la Maintenance avancée
o OPT3 : Possibilité d’upgrader l’équipement en 300 mm plus tard
o OPT4 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement
o OPT5 : Transformateur électrique
o OPT6 : Transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai