Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Module de métrologie intégrée pour équipement de marque Applied Materials MIRRA-DESICA.

Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Module de métrologie intégrée pour équipement de marque Applied Materials MIRRA-DESICA.

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Adresas: 17 rue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: thomas.zemerli@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Module de métrologie intégrée pour équipement de marque Applied Materials MIRRA-DESICA.
Nuorodos numeris: PN-B24-04533-TZ

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un système de mesure intégré pour son équipement Applied Materials MIRRA-DESICA. Cet équipement doit être entièrement intégré et connecté à l'équipement de CMP. Il doit manipuler et mesurer des plaques de silicium de 200 mm de diamètre, avec différents matériaux déposés, tels que l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, le poly-silicium sur oxyde de silicium et mesurer des plaques avec ou sans motifs.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai