Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d'une piste de lithographie 248 nm
Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d'une piste de lithographie 248 nm
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: CEA/GRENOBLE
Adresas: 17 avenue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto
kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: syrga.turganalieva@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Fourniture d'une piste de lithographie 248 nm
Nuorodos numeris: PN-B24-04592-ST
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
31712100
Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai
;
II.1.3) Sutarties tipas:
Kita
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’une piste de lithographie 248 nm. Cet équipement vise à être utilisé pour traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 7 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux implant et BEOL.
Cet équipement est destiné à étaler, développer et cuire des résines photosensibles et des couches associées automatiquement. Il sera interfacé à un scanner 248 nm et devra intégrer les modules nécessaires pour les procédés de lithographie optique, et plus particulièrement l’usage d’un scanner KrF, développés par le CEA-Leti.
Le marché envisagé comprend les options suivantes :
- Options avec chiffrage obligatoire :
o OPT1 : Logiciel pour l’écriture des recettes hors-ligne (§3.3.1)
- Options avec chiffrage facultatif :
o OPT2 : Module d’étalement de bord de plaque (§3.1.1)
o OPT3 : Module de mesure de déformation et de bow des plaques) (§3.1.1)
o OPT4 : Formation à la Maintenance de 1er niveau (§9)
o OPT5 : Formation à la Maintenance avancée (§9)
o OPT6 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement (§3.2.6)
o OPT7 : Transformateur électrique (§4.1.4)
o OPT8 : Deuxième année de garantie (§11.1)
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai