Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture et installation d’un équipement automatique pour plaques 200mm de gravure par faisceau d'ions
Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture et installation d’un équipement automatique pour plaques 200mm de gravure par faisceau d'ions
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Adresas: 17 avenue des martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto
kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: sophie.negre@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Fourniture et installation d’un équipement automatique pour plaques 200mm de gravure par faisceau d'ions
Nuorodos numeris: B24-02978-SN
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
31712100
Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai
II.1.3) Sutarties tipas:
Kita
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Le CEA Leti souhaite acquérir un équipement automatique pour plaques 200mm de gravure par faisceau d'ions avec une solution de dépôt de silicium nitruré (en option)
La chambre de gravure par faisceau d'ions doit pouvoir effectuer une gravure par faisceau d'ions réactif (RIBE) et une gravure par faisceau d'ions assistée chimiquement (CAIBE) avec des gaz d'argon, d'oxygène, de fluor et de chlore.
L'équipement doit traiter différents types de plaques de 200 mm (collées, silicium sur verre ou silicium sur silicium) et d'épaisseurs variables (de 500 à 1500 um).
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai