Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d’un équipement de type « wet bench »

Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d’un équipement de type « wet bench »

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: CEA/GRENOBLE
Adresas: 17 avenue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: claire.moreau-flachat@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Fourniture d’un équipement de type « wet bench »
Nuorodos numeris: PN-B24-03113-CMF

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Le CEA-Leti a fait l’acquisition d’un équipement de type wet bench pour sa salle-blanche. Il s'agit d'un lot unique qui ne peut pas faire l’objet d’un allotissement. L’équipement vise des nettoyages FEOL pour une large gamme d’applications dans les semi-conducteurs. Cet équipement devra réaliser des séquences de nettoyages chimiques standards basées sur du SC1, SC2, acide fluorhydrique (HF), ozone et du séchage à base d’isopropanol (IPA). Les dilutions et mélanges chimiques doivent pourvoir être flexibles et préparés d’une manière automatisée. L’équipement doit inclure un cabinet chimique chauffé dédié aux acides et bases, où le remplissage est manuel. Cet équipement doit pouvoir traiter une large gammes de plaques : des susbtrats de différents diamètres, épaisseurs et matériaux.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai