Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai
Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: CEA/Grenoble
Adresas: 17 rue des Martyrs
Miestas: Grenoble Cedex 9
Pašto
kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: claire.moreau-flachat@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr
Pirkėjo profilio adresas: https://www.marches-publics.gouv.fr
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Équipement de mesure d’Overlay pour de la lithographie avancée
Nuorodos numeris: AOO-B21-01606-CMF
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
31712100
Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai
;
II.1.3) Sutarties tipas:
Prekės
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Le CEA/Grenoble souhaite louer ou acheter un équipement de mesure d’Overlay pour la lithographie avancée qui participera à étudier des process en vue de la production de composants microélectroniques, MEMS ou NEMS. Il sera intégré dans la salle blanche de son Institut Léti. Il devra gérer automatiquement les mesures sur des plaques de silicium 200 et 300 mm.
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai