Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: CEA Grenoble
Adresas: 17 rue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo ryšiams: Zainab Magari
El-paštas: zainab.magari@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr
Pirkėjo profilio adresas: https://www.marches-publics.gouv.fr

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Fourniture d'un équipement de dépôt diélectrique 200 mm — bâtiment 52C
Nuorodos numeris: AOO-B21-03137-ZM

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Prekės

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt diélectrique ayant pour but, de développer des films minces d'oxyde de silicium (à base de silane et de teos), de nitrure de silicium, d'oxynitrure de silicium, de silicium amorphe et des empilements de ces films nécessaires à la production de puces de nouvelle technologie pour les micro et nanotechnologies. L'équipement doit être entièrement automatique et compatible avec le traitement de plaquettes de 200 mm. L'unité centrale doit être un outil en grappe, avec au moins trois chambres qui seront des réacteurs à plaquette unique. Pour cet outil, les matériaux diélectriques déposés par la technique PECVD seront utilisés principalement dans les intégrations back-end.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai