Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: CEA/Grenoble
Adresas: 17 avenue des martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo ryšiams: Sophie Nègre
El-paštas: sophie.negre@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr
Pirkėjo profilio adresas: https://www.marches-publics.gouv.fr

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Fourniture d'un équipement de nettoyage avancé en immersion 200mm
Nuorodos numeris: B21-05502-SN

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Prekės

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement capable de gérer des plaquettes de silicium standard de 200 mm et de faire fonctionner 50 plaquettes simultanément à travers différentes séquences chimiques humides dans différents réservoirs. L'équipement sera utilisé pour le nettoyage ultra-FEND pour la fabrication avancée de CMOS ainsi que pour la technologie de collage de plaquettes (spécifications de particules inférieures à 90nm ou 70nm pour des séquences spécifiques). Le CEA/LETI recherche un équipement neuf ou d'occasion.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31711000 Elektroniniai reikmenys
31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai