Vokietija, VFR-Štutgartas: Įvairios specialios paskirties mašinos

Vokietija, VFR-Štutgartas: Įvairios specialios paskirties mašinos

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Adresas: Allmandring 30a
Miestas: Stuttgart
Pašto kodas: 70569
Šalis: Vokietija, VFR
Asmuo ryšiams:
El-paštas: ims-chips-cd-sem@menoldbezler.de
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.ims-chips.de

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen
Nuorodos numeris: 2022/505

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

42990000 Įvairios specialios paskirties mašinos ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Prekės

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung eines Rasterelektro-nenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (Critical Di-mension Scanning Electron Microscope, CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen zwischen 50 nm und 2 µm auf 150 mm und 200 mm Wafern.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31000000 Elektrinės mašinos, aparatai, įranga ir reikmenys. Apšvietimas
42990000 Įvairios specialios paskirties mašinos