Švedija-Stokholmas: Fizinių savybių nustatymo prietaisai

Švedija-Stokholmas: Fizinių savybių nustatymo prietaisai

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Kungliga Tekniska högskolan
Adresas: Drottning Kristinas väg 6
Miestas: Stockholm
Pašto kodas: 114 28
Šalis: Švedija
Asmuo ryšiams: Karin Edoff
El-paštas: kedoff@kth.se
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: http://www.kth.se

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Defect, CD and overlay inspection tool
Nuorodos numeris: V-2022-0155

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38400000 Fizinių savybių nustatymo prietaisai ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Prekės

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Purpose of procurement
KTH is seeking tenders for Defect, CD and overlay inspection tool
The purpose of the procurement is to acquire a semi-automatic equipment based on optical microscopy for measurements of critical dimensions and overlay on patterned wafers as well as well as automatic scanning of wafers (patterned and non-patterned) for defect detection and classification. The tool will be placed in the Electrum Laboratory clean room in a multi-user environment with research and fabrication. It is important that the tool is user friendly and flexible.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38400000 Fizinių savybių nustatymo prietaisai