Vokietija, VFR-Paderborn: Tyrimų, bandymų ir moksliniai techniniai imituokliai

Vokietija, VFR-Paderborn: Tyrimų, bandymų ir moksliniai techniniai imituokliai

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Universität Paderborn
Adresas: Warburger Str. 100
Miestas: Paderborn
Pašto kodas: 33098
Šalis: Vokietija, VFR
Asmuo ryšiams: Dezernat 1.4
El-paštas: beschaffung@zv.upb.de
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: http://www.uni-paderborn.de

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Hochleistungs-ICP-Ätzanlage
Nuorodos numeris: 200/12/22/1

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38970000 Tyrimų, bandymų ir moksliniai techniniai imituokliai ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Prekės

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Die ICP-Ätzanlage stellt das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur dar und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Eine Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 2"), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die verwendeten optische Bauelemente basieren auf Wellenleiterstrukturen, die eine extrem hohe Anforderung an die Strukturhomogenität stellen. Es sollen Rippenwellenleiter über eine Länge von mehreren Millimetern mit einer hohen Homogenität geätzt werden.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38970000 Tyrimų, bandymų ir moksliniai techniniai imituokliai