Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai bei mikrosistemos

Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai bei mikrosistemos

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: CEA/Grenoble
Adresas: 17 rue des Martyrs
Miestas: GRENOBLE CEDEX 9
Pašto kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo ryšiams: Mme Syrga TURGANALIEVA
El-paštas: syrga.turganalieva@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr
Pirkėjo profilio adresas: https://www.marches-publics.gouv.fr

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Equipement de four de recuit rapide (RTP)
Nuorodos numeris: B22-01418-ST

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712000 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai bei mikrosistemos ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Prekės

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de four de recuit rapide dans le cadre de ses activités
de recherche et développement en microélectronique. L’équipement souhaité sera capable de réaliser des recuits thermiques rapides sur des plaques Silicium ou III-V, allant de l’échantillon aux plaques de diamètre 200 et 300mm. Il sera constitué d’un réacteur unique avec chargement manuel par défaut. Une configuration optionnelle inclura un robot pour chargement automatique et une station de refroidissement pour les plaques de diamètre 200 et 300mm. L’équipement sera capable de faire des recuits dans la gamme de température 200 – 1200°C. Les rampes de température seront des rampes de montée et descente typique de celles d’un RTP, avec des valeurs de chauffage / refroidissement de 10°C/min à 100°C/s. Les durées des paliers seront d’une 1s (spike) à 5minutes.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31712000 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai bei mikrosistemos