Vokietija, VFR-Villingen-Schwenningen: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

Vokietija, VFR-Villingen-Schwenningen: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.
Adresas: Wilhelm-Schickard-Str. 10
Miestas: Villingen-Schwenningen
Pašto kodas: 78052
Šalis: Vokietija, VFR
Asmuo ryšiams: Herr Markus Nagler
El-paštas: markus.nagler@hahn-schickard.de
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.Hahn-Schickard.de

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Cluster-Trockenätzanlage
Nuorodos numeris: VS_Cluster-Trockenätzanlage_JA

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Prekės

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Cluster Trockenätzanlage für die Strukturierung von Aluminium- und Aluminiumnitrid-Schichten. Zur Strukturierung dieser Schichten muss in die Prozesskammer ein entsprechender Chlorätzprozess implementiert werden.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai