Vokietija, VFR-Duisburgas: Elektronų pluoštą registruojantys prietaisai

Vokietija, VFR-Duisburgas: Elektronų pluoštą registruojantys prietaisai

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Universität Duisburg-Essen
Adresas: Forsthausweg 2, Gebäude LG
Miestas: Duisburg
Pašto kodas: 47057
Šalis: Vokietija, VFR
Asmuo ryšiams: Sachgebiet Einkauf
El-paštas: einkauf@uni-due.de
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.uni-due.de

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Elektronenstrahl-Lithografieanlage
Nuorodos numeris: 27-22 LR

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38341100 Elektronų pluoštą registruojantys prietaisai ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Prekės

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik
in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der
Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der
Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO
14644-1) betrieben.
Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende
Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den
aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit
darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in
Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher
Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen.
Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38341100 Elektronų pluoštą registruojantys prietaisai