Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

Prancūzija-Grenoble: Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: CEA/Grenoble
Adresas: 17 Rue des Martyrs
Miestas: GRENOBLE CEDEX 9
Pašto kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo ryšiams: M ZEMERLI Thomas
El-paštas: thomas.zemerli@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr
Pirkėjo profilio adresas: https://www.marches-publics.gouv.fr

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Fourniture d'équipements de traitement thermique - TTH

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Prekės

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Lot 1 : Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications microélectroniques aux noeuds technologiques 10nm et au-delà, sur des plaques de silicium 300mm.
Lot 2 : Equipement de traitements thermiques rapides (RTP) pour l'ingénierie de grille de transistors aux noeuds technologiques 10nm et au-delà.
Lot 3 : Equipement de traitement thermique pour réaliser des recuits en mode batch sur les briques BEOL de transistors FDSOI au noeud technologique 10nm.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai