Čekija-Praha: Optiniai prietaisai
Čekija-Praha: Optiniai prietaisai
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: České vysoké učení technické v Praze
Adresas: Břehová 7, 115 19 Praha1
Miestas: Praha
Pašto
kodas: 16000
Šalis: Čekija
Asmuo
ryšiams: Mgr. Zuzana Hradil Gawlová, advokát
El-paštas: akhradilgawlova@seznam.cz
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: https://www.fjfi.cvut.cz/cz/
Pirkėjo profilio adresas: https://www.egordion.cz/nabidkaGORDION/profilCVUT
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Optický zapisovač nanostruktur a mikrostruktur pro kvantové technologie
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
38600000
Optiniai prietaisai
;
II.1.3) Sutarties tipas:
Prekės
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Předmětem plnění zakázky je dodávka kompaktního optického litografického systému s jednoduchým ovládáním, který umožňuje přímý zápis do fotorezistu vysokou rychlostí bez použití masky. Systém musí umožňovat zápis jak na velké plochy s proměnlivým rozlišením, tak na více sub-milimetrových waferů současně ve vysokém rozlišení, dále vícenásobný zápis s přesným zarovnáním a možností virtuálního náhledu před expozicí. Zdroj osvitu 385 nm (s možnou odchylkou ±5 nm), který je vhodný pro pozitivní i negativní, širokopásmové, g-, h-, i-line a použitelný i pro SU-8 fotorezisty. Systém musí umožňovat dlouhotrvající expozice ve vysokém rozlišení s účinným potlačením vibrací a teplotních výkyvů. Systém musí zahrnovat řídící jednotku, software pro ovládání litografu a zobrazování v reálném čase.
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
38600000 Optiniai prietaisai