Italija-Trentas: Tyrimų, bandymų ir moksliniai techniniai imituokliai
Italija-Trentas: Tyrimų, bandymų ir moksliniai techniniai imituokliai
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: ISTITUTO DI FOTONICA E NANOTECNOLOGIE DEL CNR
Adresas: Via Sommarive 18
Miestas: TRENTO
Pašto
kodas: 38128
Šalis: Italija
Asmuo
ryšiams: ALESSANDRA BROCCA
El-paštas: alessandra.brocca@ifn.cnr.it
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cnr.it
Pirkėjo profilio adresas: www.cnr.it
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
sistema per la rimozione di materiali in plasma della tipologia RIE Reactive Ion Etching
Nuorodos numeris: A01C1D6834
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
38970000
Tyrimų, bandymų ir moksliniai techniniai imituokliai
;
II.1.3) Sutarties tipas:
Prekės
II.1.4) Trumpas aprašymas:
fornitura, l’installazione e la messa in funzione di un sistema di Plasma Etching per la rimozione in plasma di Ossidi, Ossi-nitruri e Nitruri di silicio, Poli-silicio, drogato e non drogato su lotti di produzione da 25 wafer di substrati da 150 mm, predisposti per trattare substrati da 200 mm. L‘apparecchiatura sarà collocata in modalità through the wall presso la cleanroom DETECTOR della Micro-nano Characterization and Fabrication Facility, Fondazione Bruno Kessler di Trento, in via Sommarive 18.Lo spazio disponibile massimo per l’apparecchiatura è di 1.35 m (larghezza), 2.5 m (profondità), 2.4 m (altezza). Il Concorrente dovrà indicare l’ingombro dell’apparecchiatura, incluse le aree di servizio (clearance) ottimizzando la disposizione all’interno della stessa. Saranno escluse le apparecchiature il cui ingombro eccede l’area disponibile.
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
38970000 Tyrimų, bandymų ir moksliniai techniniai imituokliai