Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés

Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés


I dalis: Perkančioji organizacija

    I.1) Pavadinimas ir adresai:

      Oficialus pavadinimas: CEA Grenoble
      Adresas: 17 rue des Martyrs
      Miestas: Grenoble
      Pašto kodas: 38054
      Šalis: Prancūzija
      Asmuo ryšiams:
      El-paštas: clara.gogorian@cea.fr
      Interneto adresas (-ai):
      Pagrindinis adresas:

II dalis: Objektas

    II.1.1) Pavadinimas:

      Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
      Nuorodos numeris: PN-B24-02040-CG

    II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

      31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai ;

    II.1.3) Sutarties tipas:

      Kita
;

    II.1.4) Trumpas aprašymas:

      Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications FEOL et MEOL sans contamination métallique croisée. L’équipement doit être capable d'effectuer un traitement parallèle de lots de plaquettes présentant différents niveaux de contamination. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont le silicium, l’oxyde de silicium, le nitrure, le tungstène et d’autres matériaux métalliques. Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA. Il est destiné à traiter des plaques 200mm. Il doit pouvoir intégrer un module de métrologie. Le présent marché comporte les options suivantes : - Option 1 : Formation maintenance niveau 1, page 36 du cahier des charges, - Option 2 : Formation maintenance avancée, page 36 du cahier des charges.

    II.2) Aprašymas:

    II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

      31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai
Svetainė yra atnaujinama. Galimi smulkūs nesklandumai.