Vokietija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – Reaktives-Ionenätzen-System
Vokietija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – Reaktives-Ionenätzen-System
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart
Adresas: Pfaffenwaldring 38-40
Miestas: Stuttgart
Pašto
kodas: 70569
Šalis: Vokietija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: evergabe@dlr.de
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: https://www.dlr.de
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Reaktives-Ionenätzen-System
Nuorodos numeris: E83672223
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
38000000
Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)
II.1.3) Sutarties tipas:
Kita
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Für die Prozessierung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung wird ein erprobtes System für das Reaktive Ionen Ätzen (RIE) benötigt. Das RIE-System muss das kontrollierte und reproduzierbare Ätzen der III-V-Verbindungshalbleiter GaAs und InP sowie das Ätzen von dielektrischen Materialien wie zum Beispiel SiO2 und Si3N4 ermöglichen.
Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)