Vokietija – Tyrimų, bandymų ir moksliniai techniniai imituokliai – ICP-Ätzanlage

Vokietija – Tyrimų, bandymų ir moksliniai techniniai imituokliai – ICP-Ätzanlage

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Universität Paderborn
Adresas: Warburger Str. 100
Miestas: Paderborn
Pašto kodas: 33098
Šalis: Vokietija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: beschaffung@zv.upb.de
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas:

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

ICP-Ätzanlage
Nuorodos numeris: 200/94/24/1 - Kopie

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38970000 Tyrimų, bandymų ir moksliniai techniniai imituokliai ;

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Ausgeschrieben wird eine Anlage zum reaktiven Ionenätzen mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-RIE). Die Anlage soll ein Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur darstellen und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Die Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 8"), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die Anlage soll möglichst viele unterschiedliche Materialien ätzen können, um eine weite Spanne von Bauelementen realisieren zu können. Dazu gehören Materialien wie Aluminium, Chrom, Lithiumniobat, GaAs, Siliziumdioxid und Silizium.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38970000 Tyrimų, bandymų ir moksliniai techniniai imituokliai