Vokietija – Įvairios specialios paskirties mašinos – Lieferung eines Atomic Layer Deposition system PEALD

Vokietija – Įvairios specialios paskirties mašinos – Lieferung eines Atomic Layer Deposition system PEALD

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Karlsruher Institut für Technologie
Adresas: Englerstraße 5
Miestas: Karlsruhe
Pašto kodas: 76131
Šalis: Vokietija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: martin.jackisch@kit.edu
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas:

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Lieferung eines Atomic Layer Deposition system PEALD
Nuorodos numeris: 240 - 2390_VA

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

42990000 Įvairios specialios paskirties mašinos

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Gegenstand dieser Ausschreibung ist die Lieferung eines GEMStar XT-DP, Thermal and Plasma enhanced Atomic Layer Deposition system PEALD with dual manifold zones up to 8 precursors including 2 precursor bottles + heater jackets mit Glovebox interface für das Institute of Photonics and Quantum Electronics (IPQ) am KIT - Campus Süd, Karlsruhe.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

42990000 Įvairios specialios paskirties mašinos