Belgija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – BEOL etch platform

Belgija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – BEOL etch platform

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Imec EU Pilot line NV
Adresas: Kapeldreef 75
Miestas: Heverlee
Pašto kodas: 3001
Šalis: Belgija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: tom.wauters@imec.be
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas:

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

BEOL ETCH PLATFORM
Nuorodos numeris: JPA2025ID20A

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Its object is the supply and commissioning of a new BEOL Etch Cluster. • 300mm Dry Etch/Strip Platform containing 3 Process Modules as described below: • Metal Dry Etcher capable of Metal, Metal Oxides and various HM (Hard Mask) etches • Deep Si Etcher capable of TSV (Through-Silicon Via) • Dry Stripper or Asher with water vapor passivation capability These Process Modules are targeted for various BEOL Applications from legacy technology nodes up to N3 and beyond. The contract will be awarded based on the best quality-price ratio, the award criteria will be further detailed in the tender documents.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)