Belgija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – PVD for MRAM
Belgija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – PVD for MRAM
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: Imec EU Pilot line NV
Adresas: Kapeldreef 75
Miestas: Heverlee
Pašto
kodas: 3001
Šalis: Belgija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: tom.wauters@imec.be
Interneto adresas (-ai):
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
PVD toestel voor MRAM
Nuorodos numeris: JPA2025ID 57
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
38000000
Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)
II.1.3) Sutarties tipas:
Kita
II.1.4) Trumpas aprašymas:
A 300mm wafer compatible, multi-chamber PVD platform designed for high throughput of magnetic tunnel junctions. Additionally, the following PVD and process chamber designs that must be supported are: 1) Multi-cathode PVD chamber 2) a pre-clean chamber to remove native oxides and other contaminants, 3) degass/annealing capability and, 4) a cryogenic stage (<100K) option in, or ex, situ of the PVD modules. Furthermore, the platform must be compatible with Front Opening Universal Pods with a 25-slot capacity, including an Equipment Front End Module and load-lock system for wafer loading. Finally, the deposition must be computer controlled and automated following defined recipes. As an optional, the platform should be compatible with automatic recipe upload from fab management software via a standardized protocol, for example SECS/GEM.
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)