Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d'un équipement de polissage bevel et bord de plaque 200 mm pour le CEA de Grenoble

Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d'un équipement de polissage bevel et bord de plaque 200 mm pour le CEA de Grenoble

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: CEA Grenoble
Adresas: 17 rue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto kodas: 38000
Šalis: Prancūzija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: marina.vivier@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas:

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Fourniture d'un équipement de polissage bevel et bord de plaque 200 mm pour le CEA de Grenoble
Nuorodos numeris: PN-­B24-­02231-­MV

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI de Grenoble souhaite acquérir un équipement de polissage bevel et bord de plaque 200mm. Cet équipement devra fonctionner en mode « dry-in / dry-out » et comporter au moins trois stations : - Une station de polissage bevel et bord de plaque - Une station de polissage du notch - Une station de nettoyage avec au moins un module à brosses et un sécheur à IPA. Les stations de polissage bevel / bord de plaque et notch devront avoir la capacité à éliminer, de manière non-sélective, toute couche de matériau, quelle que soit son épaisseur et sa nature, recouvrant le substrat initial en une seule passe.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai