Vokietija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – Pakėlimo proceso modulis
Vokietija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – Pakėlimo proceso modulis
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Adresas:
Miestas: Berlin
Pašto
kodas: 10587
Šalis: Vokietija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: petra.hauser@ptb.de
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: https://www.ptb.de
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Lift-Off-Prozesmodul
Nuorodos numeris: Z.841ha-0252#0001
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
38000000
Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)
II.1.3) Sutarties tipas:
Kita
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss Dimethylsulfoxid (DMSO) verwendet werden. Das DMSO muss aufgeheizt und auf hohen Druck gebracht werden können. Zudem muss hochreines Wasser (DIW) mit 0,055 μS/cm zum Spülen verwendet werden können.
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)