Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d’un module de métrologie intégrée CMP 200 mm multi purpose
Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d’un module de métrologie intégrée CMP 200 mm multi purpose
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: CEA Grenoble
Adresas: 17 rue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto
kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: nadege.jolly@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Fourniture d’un module de métrologie intégrée CMP 200 mm multi purpose
Nuorodos numeris: PN-B25-01923-NJ
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
31712100
Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai
II.1.3) Sutarties tipas:
Kita
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un système de mesure intégré pour son outil de polissage mécanique chimique EBARA FREX200M2, un outil de polissage chimico-mécanique. Cet équipement doit traiter des plaquettes de 200 mm et doit être entièrement intégré et connecté à l'outil CMP.
Cet équipement sera utilisé comme système de mesure pour contrôler le processus CPM. Il doit être intégré et connecté au nouvel outil CEA-LETI de 200 mm. L'outil de métrologie doit pouvoir d'effectuer des mesures automatiques sur des substrats en silicium ou en verre.
Il doit manipuler et mesurer des plaquettes de silicium de 200 mm, avec différents matériaux déposés, tels que l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, le poly-silicium sur oxyde de silicium, et mesurer des plaquettes avec ou sans motifs, des plaquettes avec ou sans patrons.
Ce marché comporte :
Un équipement de base
Une option à chiffrage obligatoire relative a l’extension de garantie d’une année supplémentaire au-delà de la garantie légale d’un an.
Une (des) option(s) facultatives :
Option 1 : Formation maintenance niveau 1
Option 2 : Formation maintenance avancée
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai