Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture et installation d'un équipement de dépôt ALD matériaux lithiés en 200mm

Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture et installation d'un équipement de dépôt ALD matériaux lithiés en 200mm

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: CEA Grenoble
Adresas: 17 rue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: angueran.thirion@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas:

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Fourniture et installation d'un équipement de dépôt ALD matériaux lithiés en 200mm
Nuorodos numeris: B24-05608-AT

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt ALD. L’équipement est destiné à produire des couches de haute qualité d'électrolyte et d'électrode métallique à base de lithium sur des substrats de 200 mm sur des structures pouvant avoir un rapport d’aspect élevé (jusqu'à 200:1) Le marché comporte les options* avec chiffrage obligatoire suivantes : - Option n°1 : La fourniture et l’installation d’une seconde chambre ALD thermique conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9) - Option n°2 : La fourniture d’une microbalance à cristal de quartz conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10) Le marché comporte les options* avec chiffrage facultatif suivantes : - Option n°3 : La fourniture d’une station buffer conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9) - Option n°4 : La fourniture d’un module d’alignement conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 9) - Option n°5 : La fourniture d’une colonne d’absorption recommandée pour les gaz d’échappement de la pompe conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10) - Option n°6 : La fourniture d’un disque dur de rechange conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10) - Option n°7 : La fourniture d’un jeu de réservoir de précurseurs de rechange conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.1 du cahier des charges (page 10) - Option n°8 : La fourniture d’un échangeur de chaleur/refroidisseur conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 3.2.6 du cahier des charges (page 11) - Option n°9 : La fourniture d’un transformateur électrique conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 4.1.4 du cahier des charges (page 19) - Option n°10 : La formation à la maintenance de premier niveau pour 4 personnes conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 9 du cahier des charges (page 31) - Option n°11 : La formation à la maintenance avancée pour 2 personnes conformément aux exigences formulées dans le paragraphe 9 du cahier des charges (page 31) - Option n°12 : Deuxième année de garantie

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai