Vokietija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – Plazminė pelenų plovimo sistema

Vokietija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – Plazminė pelenų plovimo sistema

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
Adresas: Walther-Meissner-Str. 8
Miestas: Garching
Pašto kodas: 85748
Šalis: Vokietija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: Stefan.Filipp@wmi.badw.de
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: https://www.wmi.badw.de

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Plasma Ashing System
Nuorodos numeris: BAdW-WMI-2025-1

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38000000 Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius)