Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Equipement de dépôt LPCVD
Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Equipement de dépôt LPCVD
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Adresas: 17 avenue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto
kodas: 38000
Šalis: Prancūzija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: nadege.jolly@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Equipement de dépôt LPCVD
Nuorodos numeris: B25-01489-TZ
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
31712100
Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai
II.1.3) Sutarties tipas:
Kita
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical.
Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).
Il comprends les options à réponses facultatives suivantes :
Option 1 : Process 8 Amorphous silicon doped with carbon @525°C (§2 du CdC)
Option 2 : Echangeurs de chaleur / refroidisseurs (§3.2.6 du CdC)
Option 3 : Transformateur (§4.1.4 du CdC)
Option 4 : Formation Maintenance 1er niveau (§9 du CdC)
Option 5 : Formation Maintenance Avancée (§9 du CdC)
Option 6 : Extension de garantie 1 an supplémentaire (§11.1 du CdC)
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai