Ispanija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Adquisición de un equipo de microscopio de escaneo electrónico con funciones de metrología y litografía

Ispanija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Adquisición de un equipo de microscopio de escaneo electrónico con funciones de metrología y litografía

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Rectorado de la Universitat Politècnica de València
Adresas:
Miestas: Valencia
Pašto kodas: 46022
Šalis: Ispanija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: contratacion@upv.es
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: http://www.upv.es

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Adquisición de un equipo de microscopio de escaneo electrónico con funciones de metrología y litografía
Nuorodos numeris: MY25/IUTNA/S/3

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

El Instituto de Tecnología Nanofotónica (NTC) de la UPV plantea la adquisición del equipamiento necesario para realizar de manera adecuada y más eficiente los procesos de metrología y litografía en obleas de semiconductores. Se trata, concretamente, de la adquisición un microscopio de escaneo electrónico (SEM, Scanning Electron Microscope por sus siglas en inglés) que permita la visualización de muestras, pero que además incluya funciones de metrología (medición mediante software de dimensiones y obtención de estadísticos) y litografía (exposición de patrones a escala nanométrica sobre resinas sensibles).

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai