Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d'un équipement de nettoyage post gravure pour les applications BEOL
Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d'un équipement de nettoyage post gravure pour les applications BEOL
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: CEA/GRENOBLE
Adresas: 17 avenue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto
kodas: 38054
Šalis: Prancūzija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: syrga.turganalieva@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Fourniture d'un équipement de nettoyage post gravure pour les applications BEOL
Nuorodos numeris: PN-B25-03483-ST
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
31712100
Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai
II.1.3) Sutarties tipas:
Kita
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10 nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de nettoyage post gravure pour sa salle-blanche.
L’équipement est destiné à traiter des wafers de 300mm en procédant à différents traitements chimiques pour applications BEOL et devra être totalement automatisé.
Le marché envisagé comprend les options suivantes :
- Options avec chiffrage obligatoire :
Option 1 : Capacité à effectuer une purge N2 du FOUP
- Options avec chiffrage facultatif :
Option 2 : Ajout adapté de H2O2 pendant le procédé de retrait du HardMask
Option 3 : Assistance mécanique aux procédés chimiques
Option 4 : Formation à la Maintenance 1er niveau
Option 5 : Formation à la Maintenance avancée
Option 6 : Fourniture d’un échangeur de chaleur et d’un refroidisseur
Option 7 : Fourniture d’un transformateur de puissance
Option 8 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai