Vokietija – Nuskaitantys elektroniniai mikroskopai – Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten

Vokietija – Nuskaitantys elektroniniai mikroskopai – Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten

I dalis: Perkančioji organizacija

I.1) Pavadinimas ir adresai:

Oficialus pavadinimas: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle
Adresas: Ehrenbergstraße 29
Miestas: Ilmenau
Pašto kodas: 98693
Šalis: Vokietija
Asmuo ryšiams:
El-paštas: vergabestelle@tu-ilmenau.de
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas:

II dalis: Objektas

II.1.1) Pavadinimas:

Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten
Nuorodos numeris: TU-025/25-201-ZMN

II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:

38511100 Nuskaitantys elektroniniai mikroskopai

II.1.3) Sutarties tipas:

Kita

II.1.4) Trumpas aprašymas:

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer flexibel einsetzbaren modernen Plasma-FIB (PFIB), wel-che die Möglichkeit der kontaminationsarmen Präparation von Strukturen über größere Probenbe-reiche mit hoher Abtragsrate besitzt. Diese hohen Abtragsraten sind für die effiziente Herstellung und Charakterisierung von verschiedenen z.T. integrierten Strukturen in unterschiedlichen Größens-kalen von Bedeutung. Mit der geplanten Anlage sollen großflächige Strukturen durch gezielte Feinstrukturierung in Mikro- und Nanometerdimension (sowohl lateral als auch in die Tiefe) hergestellt werden. Unter anderem werden damit sowohl die grundlagenbasierte Forschung im Bereich der quanten-photonisch inte-grierten Systeme (Q-PICs) vorangetrieben als auch durch die Kombination der verschiedenen tech-nologischen Konzepte mikroelektronische Systeme direkt mit Q-PICs verknüpft. Gleichzeitig soll das Gerät die Möglichkeit der Lamellenpräparation für die Transmissionselektronen-mikroskopie (TEM) unterstützen und dabei die dafür nötige Präzision auch für die Oberflächenstruk-turierung größerer Dimensionen an den Grenzen der physikalisch-technischen Realisierbarkeit be-reitstellen. Zusätzlich kann die Anlage zur Charakterisierung von Proben mit Hilfe der elektronenstrahlbasierten Abbildung verwendet werden, welche sowohl in situ (während der Strukturierung) als auch vor/nach der Strukturierung möglich ist. Dies erfolgt in der gesamten Technologiekette.

II.2) Aprašymas:

II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):

38511100 Nuskaitantys elektroniniai mikroskopai