Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »
Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »
I dalis: Perkančioji organizacija
I.1) Pavadinimas ir adresai:
Oficialus
pavadinimas: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Adresas: 17 avenue des Martyrs
Miestas: Grenoble
Pašto
kodas: 38000
Šalis: Prancūzija
Asmuo
ryšiams:
El-paštas: claire.moreau-flachat@cea.fr
Interneto adresas (-ai):
Pagrindinis adresas: www.cea.fr
II dalis: Objektas
II.1.1) Pavadinimas:
Fourniture d’un équipement d’épitaxie basse température de type « RPCVD »
Nuorodos numeris: B25-00642-CMF
II.1.2) Pagrindinis BVPŽ kodas:
31712100
Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai
II.1.3) Sutarties tipas:
Kita
II.1.4) Trumpas aprašymas:
Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement d’épitaxie afin de relever les défis technologiques à venir. Cet équipement d’épitaxie à basse température de type RPCVD (« Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition » en anglais ») doit être capable de réaliser une croissance par épitaxie intrinsèque et dopée in situ, non sélective et sélective (types N et P) de semi-conducteurs du groupe IV, à haute et basse température (de 1100°C à 300°C) sur des plaquettes de silicium de 300 mm.
Le marché comprend les options suivantes, qui sont levées à la notification du marché :
- Option 5 : Systèmes de régulation de température, tel que décrit au paragraphe 3.2.6 du cahier des charges.
- Option 7 : Formation maintenance niveau 1, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges complété par l’article 9 ci-après).
- Option 8 : Formation maintenance avancée, tel que décrit au paragraphe 9 du cahier des charges complété par l’article 9 ci-après).
II.2) Aprašymas:
II.2.1) Kitas (-i) šio pirkimo BVPŽ kodas (-ai):
31712100 Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai